用未燃燒的石油焦制成的石墨制品-偉名石墨

用未燃燒的石油焦制成的石墨制品，是二種機械強度很高的細粒結構材料，可用于制作電子技術制品，如排期、薄板、因盤、真空爐和高頻電爐的加熱器、巡熱被、解泰她簽屬的石墨皿、高溫實驗裝置的把持器（夾頭）、熱壓壓模和過濾器等。此種材料可用于懂性氣氛或保護性氣氛中在2500℃以下的溫度中工作；在真空(10-~10mmHgo，中于2000℃以下可以工作很久。MIT-8石墨的性能列于表2-2，此種材料可制成異型制品。

高純石墨系用于制作半導體技術設備的各種元件，它是以普通的結構石墨在石墨化過程中用活性氣體凈化而成的。已凈化的石墨須在防止制品污染的條件下進行機械加工。這種石墨（凈化后）的灰分不超過1×10%，鐵、鋁、鎂的含量不應超過3×105%，銅、硼、錳的含量不應超過1×10%。上面這些限定雜質(zhì)含量都符合純凈級。在這些石墨里，硅鈣的含量不大于3×10*(質(zhì)量%），高純與超高純石墨雜質(zhì)含量見表2-3。工業(yè)上還有純度更高的結構石墨。用這種石墨制成的制品經(jīng)過機械加工之后再進行補充凈化，以減少其表面沾染的幾率。限定雜質(zhì)——鐵、鋁、鎂、硼、銅、錳的含量不許超過1×10%，硅的含量不許超過3×10-%，鈦、鎳、鉻及其他元素的含量應少于1x10%。這些石墨的灰分在0~10*%。各種牌號特純石墨的物理力學性能。

注：TM石墨的熱處理溫度為2700℃，其他各種牌號石墨的熱處理溫度為2800~3000℃。有保護層的特純高強石墨是由普通細結構石墨經(jīng)過凈化并在真空中脫氣，然后用熱解炭進行表面增密處理而成的。其制品（加熱器、圓盤、石墨皿等)可用于以氣體外延生長法制取硅薄膜。制品內(nèi)雜質(zhì)含量：鐵不超過5×10*%，鋁不超過2×10%，鎂和銅不超過5x105%，鈦不超過1×10*%，鎳和鉆不超過1×10-%。

熱解炭形成的增密保護層的厚度不大于2mm。也可在經(jīng)過增密處理的石墨制品的表面，還可以沉積厚度不超過0.1mm的熱解石墨薄層。石墨制品經(jīng)熱解炭增密處理之后，其透氣性和氣

體析出量（氣體解吸率）顯著降低。

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