典型精密測量系統的簡介和雙頻激光外整干涉的應用-偉名石墨

為車間精密計量部位，例如雙頻激光干涉儀尼特直線度和精密加工車間檢查導軌的數控機床等。為了便于側;干砂傾向于與系統干擾作為安裝在機器上被測試儀表中的一員，并以激光干涉儀系統和照明系統中分離，二者的干擾功率和來自系統熱量帶走。降低熱空氣的影響，但也使干擾系統接近量開始位置，自由區，有利于消除錯誤。

遙置式干涉儀的另一方面優點是便于進行更換于涉儀的組件，以擴大企業應用研究范圍，使雙頻干涉儀可以成為一個多功能干涉儀。除用于數據長度計量處，還可有下列的應用。

只用于精確角度測量的1.雙頻激光

角度測量頻率激光干涉儀，該干涉儀系統與一對薄膜的長度測量塊組的取代基所用的偏振光束分離器，另一組有一對角隅棱鏡反射鏡的作為干涉儀和測量參照反射鏡，分別的。雙頻率激光到該激光束的分割塊的下部設置雙層膜分離通過偏振分束器的偏振方向，其中，所述光通過朝向錐體校正反射鏡的偏振分束器傳送。

雙角錐梭鏡組安放我們在被側物體上，當它在一個導軌上平移且沒有進行擺動時，兩支光路的多普勒頻移會合后經檢偏振器產生拍頻率，并在獲得拍頻中互相影響抵消，計算機無多普勒頻移值出現。如果雙角錐棱鏡組在移動學習過程中，由于這種導軌的直線度誤差偏差而發生角的傾斜，則兩梭鏡的角點在虛擬光軸技術方向將產生一種相對水平位移量。

雙頻激光干涉儀與自準直儀相似，可精確測量導軌的直線度平面和平板的平整度。 測量導軌直線度時，雙膜塊組固定在適當位置，而雙角穿梭鏡組固定在工作臺上，通過移動工作臺可以測量角量表示的直線度..

2，雙頻激光干涉儀側平直度的量

測量直線度的原理，雙頻定位激光束通過半反射鏡至漫拉斯頓偏振分束器上，正交線偏振光被分開成一個夾角為固定值的兩束線偏振光，分別直接射向雙面影響反射的兩界并由我們原路返回，返回自然光在渥拉斯頓鏡重新會合后，經半反射鏡、全反鏡反射到檢偏器。兩光束在檢偏器后形成進行拍頻并被光電信息接收器可以接收。

3.雙頻激光進行干涉技術用于同軸度的精密側量

直頻率激光測量儀，測量直線長距離，高精確度和可靠性，該儀器也可以工程化以高精度測量為與圓周度長的距離。

同軸度測量儀器應具有通過以下幾個特點：

1、 能夠通過進行一個間斷測量，在同軸度測量中，定心靶子從一個孔移到另一個孔時，光傳感系統元件離開光路是不可為了避免的，因此當傳感技術元件可以暫時離開光路再回到光路中，儀器要能夠發展繼續照常開展工作，即暫時擋光并不重要影響學生測量研究結果，這是一種測量同軸度所必需的。

2，具有電平自適應于票和激光束的漂移的角度測量系統，束偏移應不影響測量結果。

3、 光學信息系統對大齊擾動應具有能力較強的抵抗力。

4.由于測量同軸度時，定心目標必須從一個孔移動到另一個孔，因此必須進行對準，測量時間較長，因此要求儀器具有較好的長時間穩定性。

傳統的雙頻率激光直線度干涉不能滿足要求，因為在相位鎖定頻率計數的信號處理的雙頻激光干涉儀的直線，所述中斷信號是不允許的，否則立即計數無效。和同心度測量中，從一個目標向另一個井定心孔必然阻擋光期間，因此信號中斷是不可避免的，雙頻激光干涉儀不能測量平直度的同心度。